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测试内容:
（1）提供样品表面和内部成分分析，可采用氩离子溅射处理，同时可进行剖面AES分析；
（2）固体样品可提供<50oC角度侧倾扫，提供表面 2-10nm精细元素分布分析；
（3）可进行微区元素分析；
（4）仪器精度：0.05eV。 应用范围： 电子能谱仪主要用于表面的成分分析和表面元素化学状态的分析，
主要使用范围如下：
（1）半导体大规模、超大规模集成电路的研究;
（2）冶金工业：寻求各种表面处理技术，以获得材料的特殊性能，如耐磨性、高硬度，耐腐蚀性等；
（3）固体化学；研究固体的表面吸附，表面反应和表面化学状态；
（4）材料科学：研究材料表面的成分和结构，探索表面性能。
深圳八六三计划材料表面技术研发中心
深圳市材料表面分析检测中心
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